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簡述等離子體清洗在各方面的應用

發布時間:2020-09-12  點擊次數:562 次
  等離子體清洗在各方面有什么樣的應用?下面,低溫等離子模塊廠家來給大家分享一下。
  1、硬盤
  用等離子清洗來去除由上一步濺鍍工藝留下的殘余物,同時基材表面經過處理,對改變基材的潤濕性,減小摩擦,很有益處。
  2、零件清洗
  在經過機械加工的零件表面主要殘留物為油類污染,采用O2等離子體去除會有用。
  3、BGA封裝工藝
  在BGA工藝中,對表面清潔和處理都是嚴格的,焊球與基板的連接要求一個潔凈表面以保障焊接的一致性。等離子體處理它可以保障沒有痕跡,BGA焊盤要求等離子處理來保障良好的粘接性能,并且,已有批量和在線式的清洗工藝。
  4、液晶顯示器生產中的清洗
  在液晶清洗中的干式清洗,使用的氣體是氧的等離子體,它能除去油性污垢和臟物粒子,因為氧等離子體可將有機物氧化,形成氣體排出。
  5、蝕刻工藝
  某種程度來講,等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發生反應,反應的揮發性副產物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。

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